真空鍍膜技術(shù)的應(yīng)用時(shí)較早的。20世紀(jì)初大發(fā)明家愛迪生就提出了唱片蠟?zāi)げ捎藐帢O濺射進(jìn)行表面金屬化的工藝方法，并于1903年申報(bào)了專利，這便是薄膜技術(shù)在工業(yè)上應(yīng)用的開始。但是這一技術(shù)在當(dāng)時(shí)因受到真空技術(shù)和其他相關(guān)技術(shù)發(fā)展的限制，發(fā)展速度較慢。直到二次世界大戰(zhàn)期間，法西斯德國使這一技術(shù)服務(wù)于戰(zhàn)爭，制備各種軍用光學(xué)鏡片和反光鏡，從而首先使用這一技術(shù)在光學(xué)工業(yè)中得到了迅速的發(fā)展。并且逐漸形成了薄膜光學(xué)，成為光學(xué)的一個(gè)重要分支。

真空鍍膜技術(shù)在電子方面開始是用來制造電阻和電容元件，之后隨著半導(dǎo)體技術(shù)在電機(jī)學(xué)領(lǐng)域中的應(yīng)用，又使這一技術(shù)成為晶體管制造和集成電路生產(chǎn)的必要工藝手段。近年來，隨著集成電路向大規(guī)模和超大規(guī)模集成方向發(fā)展，從而又對真空鍍膜技術(shù)提出了新的要求。因而在電機(jī)學(xué)領(lǐng)域中又產(chǎn)生了一個(gè)新的分支—薄膜微電子學(xué)。

表面科學(xué)是在固體物理等許多科學(xué)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新科學(xué)，其研究對象是各種各樣的表面。真空鍍膜技術(shù)為制造各種各樣的清潔表面提供了手段。特別是20世紀(jì)70年代在真空鍍膜基礎(chǔ)上發(fā)展起來的分子束外延技術(shù)，用他不但可以制備可精確控制的超薄薄膜、原子級平整度的表面、上百層的疊加膜，而且還可以控制薄膜的成分和配比。這些薄膜的制備均為科學(xué)的研究和發(fā)展提供了充分的條件。

真空鍍膜技術(shù)在其他科學(xué)領(lǐng)域中的應(yīng)用亦很廣泛。例如，電子顯微鏡的標(biāo)本必須經(jīng)過真空鍍膜處理才能觀察；激光器需要鍍上精密控制的光學(xué)膜層才能使用；太陽能利用也與真空鍍膜技術(shù)息息相關(guān)。

目前，幾乎任何材料都可以通過真空鍍膜工藝涂覆到其他材料的表面上，這為真空鍍膜技術(shù)在各種工業(yè)領(lǐng)域中的應(yīng)用開辟了更加廣闊的前景。

用真空鍍膜技術(shù)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電鍍工藝，不但能節(jié)省大量的膜材和降低能耗，而且還會消除濕法鍍膜中所產(chǎn)生的環(huán)境污染。因此國外在鋼鐵零件涂鍍防腐層和保護(hù)膜方面，已采用真空鍍膜工藝來代替電鍍工藝。在冶金工業(yè)中，為鋼鐵和帶鋼加鍍鋁防護(hù)層已很普遍；在機(jī)械制造業(yè)中，真空鍍膜工藝用于改變改變某些加工工藝和節(jié)約貴重的原材料，如飛機(jī)渦輪發(fā)動機(jī)的葉片已經(jīng)不用價(jià)格昂貴的耐高溫金屬制造，而是采用價(jià)格低廉易加工材料，成形后再用真空鍍膜的方法在葉片表面上加鍍耐高溫，耐腐蝕的防護(hù)層。再如汽車制造業(yè)中采用塑料制品金屬化零件代替各種金屬零件，既減輕了汽車的重量又節(jié)約了燃油的消耗。在金屬切削刀具上加鍍TiN硬膜可使用刀具壽命提高3～6倍，從而節(jié)省了大量的高速鋼材。

塑料薄膜采用真空鍍膜的方法加鍍鋁等金屬膜，再進(jìn)行染色，可得到用于工業(yè)中的裝飾品薄膜。

近年來，建筑工業(yè)上玻璃鍍膜已經(jīng)十分盛行，因?yàn)檫@種不但可以美化建筑物，而且可以節(jié)約能源，這是因?yàn)樵诓Ａ襄兩戏瓷淠た梢允沟途暥鹊貐^(qū)房屋避免炎熱的陽光直射到室內(nèi)，而節(jié)省空調(diào)費(fèi)用。玻璃上鍍?yōu)V光膜和低輻射膜，可使陽光射入，而作為室內(nèi)熱源的紅外輻射又不能通過玻璃輻射出去，這在高緯度地區(qū)也可以達(dá)到保溫節(jié)能的目的。